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質譜測漏的多種方式
編/楊文亮
一、氫氣檢漏簡介
使用5%的氫氣和95%氮氣的混和氣作為示蹤氣體進行檢漏，稱作氫氮混和氣檢漏法，或氫氣檢漏法。無論是在漏點定位還是在泄漏測試應用，這種檢漏方法已經在各個行業領域內得到了廣泛使用。這種低濃度的氫氮混和氣無毒且無腐蝕，不可燃，沒有危險性。其價格非常低廉，很容易在各個氣體供應商處購得。氫氮混和氣檢漏技術可以檢出低至5*10-7mbar/s的泄漏，相當于0.1g/y。其氣體使用成本僅是氦氣的1/10到1/20。是檢漏技術的發展趨勢。
氫作為檢漏使用的示蹤元素，有著很多獨一無二的優點。氫是自然界中分子量最小，最輕的元素，氫氣也是所有氣體中最輕的。由于氫分子移動速度都要高于其他分子，因此使用安全的低濃度氫氣作為示蹤氣體，可以有著更快的響應速度和更好的檢漏精度。另外，氫氣分子的擴散性是所有元素中最佳的，因此使用氫氮混和氣檢 漏法不需要很高要求的本底環境，無需象氦氣檢漏一樣設置專用的檢漏室。
二、氦檢漏技術簡介
1、真空箱式氦檢法
■ 在待檢工件中充入高壓氮氣并保壓，由系統的壓力傳感器確認是否有大漏
■ 真空箱抽真空至設定壓力；
■ 工件抽真空；
■ 工件充注氦氣；
■ 氦檢漏儀檢測真空箱中氦濃度的變化值。
2、吸槍式氦檢法
■ 在待檢工件中充入高壓氮氣并保壓，由系統的壓力傳感器確認是否有大漏；
■ 工件抽真空；
■ 工件充注氦氣；
■ 用吸入器探頭逐個掃描可能的漏點，觀察氦濃度值的變化來尋找漏孔的位置。
3、氦罩式氦檢法
■ 在待檢工件中充入高壓氮氣并保壓，由系統的壓力傳感器確認是否有大漏；
■ 用金屬罩罩住待檢工件；
■ 金屬罩抽真空；
■ 工件抽真空；
■ 金屬罩充注氦氣；
■ 氦檢漏儀檢測金屬罩中氦濃度的變化值；
三、真空系統測漏方法
1、保壓測漏法
步驟:
（1）在完成的系統管路中前后設立隔離閥及壓力計。
（2）向系統通入氮氣(N2)，加壓至預設的保壓壓力，一般30~60psi 。之后，關閉前后隔離閥，并解除隔離閥系統外的壓力。
（3）觀察系統的壓力計指示并作記號。
（4）保持狀況約1小時以上(時間長短，視系統大小及需求漏率而定。
（5）看壓力計的指示是否有下降，以測定有無泄漏。
缺點:
（1）僅能作為初步的測漏參考。
（2）費時。
（3）常因系統溫差而不準。
2、測漏液測漏法
使用較稠性的液體如肥皂水等，涂抹于待測件上，觀察是否產生泡沫的方式，有現成品檢漏液。
步驟:
（1）向待測系統注入氮氣加壓約30~60psi。
（2）將測漏液噴于預測可能漏氣的組件或接合處。
（3）觀察有無氣泡產生，其氣泡之大小將依漏率而定。
（4）將測漏液擦干。
缺點:
（1）初略的測漏
（2）檢漏液可能污染管件，測漏液若不擦拭干凈易導致管件生銹。
3、氦氣測漏法
（1）負壓法:
①封閉待測管路系統，一端與氦氣測漏儀連接。
②按照氦氣測漏儀使用方法操作，使待測管路系統抽氣成目標測試真空度。
③向管路系統，由上而下對欲測點噴氦氣，并看測漏儀的反應(指針指示或警報)。
注: 若某一處顯示泄漏，為了再次確認，可用真空封土糊于其上再重復測試。
（2）正壓法:
①按使用方法起動氦氣測漏儀，并建立一定的真空。
②向待測系統管路注入氦氣，加壓至30 ~ 60 psi。
③將檢漏儀探頭置于待測管件處偵測泄漏。
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